東京高専 水戸研究室

オリジナル基板立て

本研究室は,基板上に薄い膜を付けてその性質を調べるというのが研究の柱なのですが,そのために基板を清浄にする必要があります.

基板を清浄にする作業を基板洗浄と呼び,これは基板を立てた状態で行ったほうが良いとされます.そこで基板を立てる台が必要になるのですが,本研究室で扱うような小さい基板用の台は販売されておりません.

針金で台を作ったりもしていたのですが使いにくいので,世界最高の耐薬品性をもつPTFE(いわゆるテフロン)で基板洗浄用の基板立てを作製しました.φ20mmのPTFE丸棒をフライス加工したものです.

これで,より効率的に研究を進められます.